The fluid control device (101) includes a pump (20), a container (70) pressurized or depressurized by the pump (20), and a valve (60) for communicating the container (70) and the outside in an open state. And a controller (90) for controlling the pump (20) and the valve (60). The controller (90) closes the valve (60) and pressurizes or depressurizes the container (70) by driving the pump (20), then opens the valve (60) and turns the pump (20) on. The pump (20) is cooled by driving. Thereby, suppression of the temperature rise of a pump or the improvement of the convenience of a fluid control apparatus is aimed at.流体制御装置（１０１）は、ポンプ（２０）と、当該ポンプ（２０）により加圧または減圧される容器（７０）と、オープン状態で容器（７０）と外部とを連通させるバルブ（６０）と、ポンプ（２０）およびバルブ（６０）を制御する制御部（９０）と、を有する。制御部（９０）は、バルブ（６０）をクローズし、ポンプ（２０）を駆動することによって容器（７０）を加圧または減圧し、その後、バルブ（６０）をオープンし、ポンプ（２０）を駆動することによってポンプ（２０）を冷却する。これにより、ポンプの温度上昇の抑制または流体制御装置の利便性の向上を図る。
