SENSOR AND ITS MANUFACTURING METHOD

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专利权人:

Picosun Oy

发明人:

Marko PUDAS,Jani KIVIOJA,Niku OKSALA

申请号：

US16832161

公开号：

US20200309620A1

申请日:

2020.03.27

申请国别(地区):

US

年份:

2020

代理人:

摘要：

A strain sensor that includes a first atomic layer deposition layer, a flexible molecular layer deposition layer on top of the first atomic layer deposition layer, and a second atomic layer deposition layer on top of the molecular layer deposition layer.

来源网站：

中国工程科技知识中心

来源网址：

http://www.ckcest.cn/home/