用于超声系统的CMUT封装
- 专利权人:
- 科隆科技公司
- 发明人:
- 黄勇力
- 申请号：
- CN200880117482.1
- 公开号：
- CN101868185B
- 申请日:
- 2008.12.03
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2013
- 代理人:
- 摘要：
- 超声扫描仪和制造超声扫描仪的方法。方法的一个实施方式包括使柔性电子器件(例如，IC)和柔性超声换能器(例如，圆形CMUT阵列的一部分)与柔性构件集成。IC、换能器和柔性构件可形成柔性子组件，柔性子组件被卷起以形成超声扫描仪。IC和换能器的集成可同时发生。在可选方案中，电子器件的集成可出现在换能器的集成之前。而且，换能器的集成可包括使用半导体技术。此外，卷起的子组件可形成管腔或可连接到管腔。该方法可包括折叠柔性子组件的一部分以形成前视换能器。一些子组件的柔性构件可包括一对臂。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
