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3-port piezoelectric ultrasonic transducer
专利权人:
クアルコム,インコーポレイテッド;クアルコム,インコーポレイテッド
发明人:
ヒリシケシュ・ヴィジャイクマール・パンチャワグ,ハオ-イェン・タン,イペン・ル,コスタディン・ディミトロフ・ジョルジェフ,スールヤプラカーシュ・ガンティ,デイヴィッド・ウィリアム・バーンズ,ラヴィンドラ・ヴァマン・シェノイ,ジョン・ブラッドリー・ラシター,ナイ-クエイ・クオ,フィラス・サムモウラ,ハオ-イェン・タン,ナイ-クエイ・クオ
申请号:
JP2017518497
公开号:
JP2018502467A
申请日:
2015.10.15
申请国别(地区):
JP
年份:
2018
代理人:
摘要:
A piezoelectric micromechanical ultrasonic transducer (PMUT) includes a diaphragm disposed over a cavity, the diaphragm including a piezoelectric layer stack including a piezoelectric layer, a first electrode electrically coupled to a transceiver circuit; And a second electrode electrically coupled to the transceiver circuit. The first electrode may be disposed within the first portion of the diaphragm and the second electrode may be disposed within the second separate portion of the diaphragm. Each of the first electrode and the second electrode is disposed on or near the first surface of the piezoelectric layer, the first surface being on the opposite side of the cavity. The PMUT transmits a first ultrasonic signal via the first electrode during the first time period and transmits a second ultrasonic signal via the second electrode during the second time period. The first time period and the second time period are at least partially overlapping.圧電微小機械超音波トランスデューサ(PMUT)が、空洞の上に配置されたダイアフラムを含み、ダイアフラムは、圧電層を含む圧電層スタックと、送受信機回路と電気的に結合された第1の電極と、送受信機回路と電気的に結合された第2の電極とを含む。第1の電極はダイアフラムの第1の部分内に配置されてよく、第2の電極はダイアフラムの第2の別々の部分内に配置されてよい。第1の電極および第2の電極の各々は、圧電層の第1の表面の上または近傍に配置され、第1の表面は空洞の反対側にある。PMUTは、第1の時間期間中に第1の電極を経由して第1の超音波信号を送信し、第2の時間期間中に第2の電極を経由して第2の超音波信号を受信するように構成され、第1の時間期間および第2の時間期間は少なくとも部分的に重複している。
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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