光学相干单元和光学相干测量装置
- 专利权人:
- 拓自达电线株式会社
- 发明人:
- 高屋雅人,岩田真也
- 申请号:
- CN201880037887.8
- 公开号:
- CN110720022A
- 申请日:
- 2018.29.05
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2020
- 代理人:
- 摘要:
- 光学相干单元(20)具备分支光学元件(21)、合波光学元件(23)以及至少一个光纤器件(22)。分支光学元件(21)将使射出波长随时间进行了扫频的激光分支为测量光和参照光。合波光学元件使参照光与由被测量物反射后的测量光合波并使它们发生干涉。至少一个光纤器件包括参照光用器件(22A)。将透过参照光用器件后的参照光的从参照光用器件至合波光学元件为止的光路长度设为透过光路长度。将由参照光用器件的脱离部反射后的参照光的从参照光用器件至合波光学元件为止的光路长度设为反射光路长度。在该情况下,透过光路长度为反射光路长度以上。
- 来源网站:
- 中国工程科技知识中心