一种半导体超洁净清洗台
- 专利权人:
- 江苏晶睿光电科技有限公司
- 发明人:
- 山世清
- 申请号：
- CN201821370230.7
- 公开号：
- CN208772043U
- 申请日:
- 2018.24.08
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2019
- 代理人:
- 摘要：
- 本实用新型涉及一种半导体超洁净清洗台,其特征在于:包括支撑架、清洁舱、半导体夹持架、脉冲机构和紫外线杀菌灯;本实用新型中通过驱动电机驱动的半导体夹持架旋转,通过脉冲阀的控制在对准半导体夹持架的脉冲管上产生脉冲,产生的脉冲能对旋转状态的半导体夹持架进行除尘,掉落的灰尘通过负压排风口的负压风机吸出清洁舱;此外,在清洁舱内设置紫外线杀菌灯,能够消毒杀菌,从而提供良好的工作环境。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
