PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a nozzle type electron beam irradiation device capable of applying appropriate electron beams by nearly uniformizing distribution of a degree of vacuum inside a vacuum chamber and a vacuum nozzle.SOLUTION: A nozzle type electron beam irradiation device 1 includes: a vacuum chamber 2； an electron beam generator 3 disposed inside the vacuum chamber 2； and a vacuum nozzle 4 connected to the vacuum chamber 2 to guide electron beams E from the electron beam generator 3 and apply the electron beams to the outside. The nozzle type electron beam irradiation device 1 includes a high-vacuum pump 5 capable of performing suction from an area near a part to which the vacuum nozzle 4 is connected in the vacuum chamber 2.SELECTED DRAWING: Figure 1【課題】真空チャンバおよび真空ノズルの内部における真空度の分布を略均一にすることにより、適切な電子線を照射し得るノズル式電子線照射装置およびこれを具備する電子線滅菌設備を提供する。【解決手段】真空チャンバ２と、この真空チャンバ２の内部に配置された電子線発生器３と、真空チャンバ２に接続されて電子線発生器３からの電子線Ｅを案内して外部に照射する真空ノズル４とを備えるノズル式電子線照射装置１である。このノズル式電子線照射装置１は、真空チャンバ２において真空ノズル４が接続されている部分の近傍から吸引し得る高真空ポンプ５を備える。【選択図】図１
