According to the the present invention a method for manufacturing the ultrasonic transducer is provided. Piezoelectric polymers, viscous film is mixed in a solution containing the first and second chemical substance is formed. First chemistry in one embodiment comprises of methyl ethyl ketone (MEK), the second chemical entity comprises a dimethylacetamide (DMA). First chemistry in other embodiments include cyclohexane, second chemical entity comprises dimethyl sulfoxide (DMSO). The film coated on the wafer, then flushed off during the coating. Then the film is baked. Second chemical is removed during baking. Then, the film is annealed. In certain embodiments the annealing is performed using an annealing temperature ranging from about 135 C. ~ about 145 C., the annealing duration may range from about 17 to about 19 hours. Film after annealing has a greater than 50% -phase degree of crystallinity.本発明によれば超音波トランスデューサの作製方法が提供される。圧電ポリマーが、第1及び第2の化学物質を含有する溶液中に混入されて粘性フィルムが形成される。ある実施態様では第1化学物質はメチルエチルケトン(MEK)を含み、第2化学物質はジメチルアセトアミド(DMA)を含む。他の実施態様では第1化学物質はシクロヘキサンを含み、第2化学物質はジメチルスルホキシド(DMSO)を含む。フィルムはウェハ上にコーティングされ、次いでコーティング中にフラッシュオフされる。その後フィルムは焼き付けされる。第2化学物質は焼き付け中に除去される。次いで、フィルムは焼鈍される。ある実施態様では焼鈍は約135℃~約145℃の範囲の焼鈍温度を使用して実施され、焼鈍時間長は約17~約19時間の範囲である。焼鈍後のフィルムは50%より大きいβ相結晶度を有する。
