PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an MEMS element that performs high-frequency operation and has high output characteristics.SOLUTION: An MEMS element 1000 has: a cavity part 110 formed in a substrate 100 a diaphragm part 101 provided on the cavity part 110 and a piezoelectric element part provided on the diaphragm part 101. The diaphragm part 101 has at least a first thin film 102, a second thin film 103, a third thin film 104, and a fourth thin film 105 laminated, and the piezoelectric element part includes a first electrode 106, a second electrode 108, and a piezoelectric material 107 sandwiched between the first electrode 106 and second electrode 108. Consequently, the MEMS element 1000 has high oscillation output and can operate stably at a high frequency.COPYRIGHT: (C)2014,JPO&INPIT【課題】高周波動作および高出力特性を有するMEMS素子を提供する事。【解決手段】MEMS素子1000は、基板100に形成された空洞部110と、空洞部110上に設けられたダイヤフラム部101と、ダイヤフラム部101上に設けられた圧電素子部と、を有する。ダイヤフラム部101は少なくとも第一薄膜102と第二薄膜103と第三薄膜104と第四薄膜105とが積層されており、圧電素子部は、第一電極106と、第二電極108と、第一電極106と第二電極108とに挟持された圧電材料107と、を備える。これにより、発振出力が高く、且つ高周波にて安定動作が可能なMEMS素子1000が実現される。【選択図】図1
