您的位置：
首页
>
农业专利
>
详情页
オーバーレイエラーのフィードフォワードおよびフィードバック修正、根本原因分析および工程の制御の統計的オーバーレイエラーの予測
- 专利权人:
- ケーエルエー−テンカー コーポレイション
- 发明人:
- チャン ウェイ,ラオ クリシュナ,グティエレス ジョセフ,オラヴァリア ラモン,マクナートン クレイグ,アゾルデガン アミル,ディゲ プラサンナ
- 申请号：
- JP20160555779
- 公开号：
- JP2017514294(A)
- 申请日:
- 2015.03.05
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- データを収集し、パターン化されたウェーハ・ジオメトリデータおよびその他の関連情報を用いてオーバーレイエラーを予測するために統計的モデルを練成、検証および展開する方法は、１つのトレーニングウェーハセットを選択し、多数のリソグラフィー工程で測定してジオメトリ差を計算し、トレーニングウェーハジオメトリ差に複数の予測モデルを適用し、予測オーバーレイをトレーニングウェーハセットの測定されたオーバーレイと比較することを含む。最も正確な予測モデルが識別され、結果はリソグラフィースキャナにフィードフォワードされ、リソグラフィースキャナはこれらの効果を修正することができ、ウェーハ走査露光工程中にオーバーレイエラーを減少することができる。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
