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トモシンセシス撮像装置及びトモシンセシス画像の撮像方法
专利权人:
CANON INC
发明人:
ITO EINOSUKE,伊藤 英之助
申请号:
JP2011183406
公开号:
JP2013042983A
申请日:
2011.08.25
申请国别(地区):
JP
年份:
2013
代理人:
摘要:
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a tomosynthesis imaging device and an imaging method of tomosynthesis image, capable of acquiring a high-quality phase image or differential phase image while suppressing deterioration in visibility of moire.SOLUTION: The tomosynthesis imaging device for acquiring internal depth information of an inspection object includes: a shield grid which is constituted by laminating at least two partial shield grids each having a transmissive portion and a shielding portion periodically aligned with a differed pitch of these portions and a control means which moves the two partial shield grids in the direction of the pitch to control the overlapping state of each shielding portion between the partial shield grids by the lamination. The control means controls the overlapping state of each shielding portion according to the incident direction of an electromagnetic wave source by rotation of the electromagnetic wave source, and electromagnetic wave which is emitted from the electromagnetic wave source and transmitted by the transmissive portion of the shield grid suppresses the shielding by each shielding portion.COPYRIGHT: (C)2013,JPO&INPIT【課題】モアレのビジビリティ低下を抑制することができ、高画質な位相像や微分位相像を取得することが可能となるトモシンセシス撮像装置及びトモシンセシス画像の撮像方法を提供する。【解決手段】被検査物内部の奥行き情報を取得するトモシンセシス撮像装置であって、遮蔽格子は、透過部と遮蔽部とが周期的に配列され、これらの周期が互いに異なる周期を有する、少なくとも2つの部分遮蔽格子の積層によって構成され、2つの部分遮蔽格子を周期の方向に移動させ、積層による部分遮蔽格子間の各遮蔽部の重なり状態を制御する制御手段を備え、電磁波源の回転による電磁波源の入射方向に応じて、制御手段により各遮蔽部の重なり状態を制御し、電磁波源から出射され遮蔽格子の透過部を透過する電磁波が、各遮蔽部による遮蔽を抑制する。【選択図】 図1
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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