According to an embodiment of the present invention, a sterilization apparatus includes a chamber that provides a sterilization space distinguished from the outside； a sterilization unit for supplying an oxidant in the chamber to oxidize contaminants present in the chamber； a sensor installed inside the chamber to detect the concentration of carbon dioxide； and a control unit, electrically connected to the sensor, for switching the sterilization unit from a sterilization state to a standby state when the rate of change of the concentration measured by the sensor is less than the reference.본 발명의 일 실시예에 의하면, 살균장치는, 외부로부터 구별된 살균공간을 제공하는 챔버； 상기 챔버 내에 산화제를 공급하여 상기 챔버 내부에 존재하는 오염물질을 산화시키는 살균유닛； 상기 챔버 내부에 설치되어, 이산화탄소의 농도를 감지하는 센서； 그리고 상기 센서에 전기적으로 연결되며, 상기 센서를 통해 측정된 상기 농도의 변화율이 기준 이하인 경우 상기 살균유닛을 살균상태에서 대기상태로 전환하는 제어유닛을 포함한다.
