After the beam diameter of the charged particle beam is narrowed by the quadrupole electromagnets 2G, 2h and 2I in accordance with a predetermined beam diameter stop coefficient C, the scattering beam 8 provided on the downstream side of the scanning electromagnets 7a and 7b is used for the target The beam diameter is stabilized by enlarging the beam diameter of the charged particle beam narrower than the beam diameter to the target beam diameter.四極電磁石2g、2h、2iにより荷電粒子ビームのビーム径を、所定のビーム径絞り係数cに従って、目標のビーム径よりも小さく絞った後、スキャニング電磁石7a、7bの下流側に備えた散乱体8を用いて、目標のビーム径よりも小さく絞った荷電粒子ビームのビーム径を目標のビーム径まで拡大することで、簡便にビーム径を安定化させる。
