Use periodic spatial pattern X-ray illumination to collect information about the periodic object. Generates the structured illumination using the interaction of the X-ray source with the coherent or partially coherent beam-splitting grating, and generates the Talbot interference pattern with the periodic structure. Then, the subject of the periodical structure to be measured is arranged in the structured illumination, and the ensemble of the signals from the multiple illumination points is analyzed to determine various characteristics of the subject and the structure thereof. X-ray absorption / transmission, incineration X-ray scattering, X-ray fluorescence, X-ray reflection, X-ray diffraction can be applied using the method of the present invention.주기적 공간 패턴의 X-선 조명을 사용하여 주기적 피검체에 대한 정보를 수집한다. 간섭성 또는 부분 간섭성을 갖는 X-선 광원과 빔 분할 격자의 상호 작용을 이용하여 구조화된 조명을 생성하고 주기적 구조를 갖는 탈봇 간섭 패턴을 생성한다. 그리고, 측정 대상인 주기적 구조의 피검체를 구조화된 조명에 배치하고 다중 조명 지점으로부터의 신호의 앙상블을 분석하여 피검체와 그 구조의 다양한 특성을 결정한다. 본 발명의 방법을 사용하여 X-선 흡수/투과, 소각 X-선 산란, X-선 형광, X-선 반사, X-선 회절에 응용이 모두 가능하다.
