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非一様断面を有する電子ビームウィンドウタイル
- 专利权人:
- エナジー サイエンシーズ，インコーポレイティド
- 发明人:
- リッチ アレクシー,イムティアズ ラングワッラ,ジョナサン バラウド
- 申请号：
- JP20170532970
- 公开号：
- JP2018506024(A)
- 申请日:
- 2015.12.18
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2018
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】電子ビームシステムのウィンドウタイルを提供する。【解決手段】ウィンドウタイルは、第１の表面及び第２の表面と、第１の表面から第２の表面まで延在する一つ以上の形状と、を備えることができる。一つ以上の形状は、第１の表面と第２の表面との間の非一様断面又はテーパー断面を有することができる。第１の表面を、真空状態にさらされるように構成されるとともに電子ビーム生成器からの加速された電子を受けるように構成することができる。第２の表面を、電子が箔を通過できるように構成することができる。ウィンドウタイルは、例えば、電子のスループットを増大させ、電力消費量を低減させ、箔の熱吸収を減少させ、箔の寿命を延ばし、かつ、電子ビーム処理において小型で廉価なマシンを利用できるようにすることによって電
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
