The present disclosure relates to a nozzle device (1-1) for atomizing a liquid, the nozzle device (1-1) including a substrate (3) and a sheave side membrane (5) including a plurality of sheave side orifices (5a). And the sheave side membrane (5) is provided on the sheave side (3c) of the substrate (3) and the nozzle device further comprises a spray side membrane (7) including a plurality of spray side orifices (7a). The spray side film (7) is provided on the spray side (3d) of the substrate (3), and the substrate (3) includes a first cavity portion (4a) extending to the sheave side film (5). By having the second cavity part (4b) extending from the first cavity part (4a) to the spray side membrane (7), the space between the sheave side orifice (5a) and the spray side orifice (7a) is increased. Providing fluid communication along a fluid communication axis (9), wherein the cross-sectional area (11) of the first cavity portion (4a) is larger than the cross-sectional area (13) of the second cavity portion (4b). Is a cross section with respect to the fluid communication shaft (9).本開示は液体を霧化するためのノズル装置（１－１）に関し、ノズル装置（１－１）は、基板（３）と、複数のシーブ側オリフィス（５ａ）を含むシーブ側膜（５）とを含み、シーブ側膜（５）は基板（３）のシーブ側（３ｃ）に設けられており、ノズル装置はさらに、複数の噴霧側オリフィス（７ａ）を含む噴霧側膜（７）を含み、噴霧側膜（７）は基板（３）の噴霧側（３ｄ）に設けられており、基板（３）は、シーブ側膜（５）まで延在する第１のキャビティ部（４ａ）と、第１のキャビティ部（４ａ）から噴霧側膜（７）まで延在する第２のキャビティ部（４ｂ）とを有することによって、シーブ側オリフィス（５ａ）と噴霧側オリフィス（７ａ）との間に流体連通軸（９）に沿った流体連通を提供し、第１のキャビティ部（４ａ）の断面積（１１）は第２のキャビティ部（４ｂ）の断面積（１３）よりも大きく、当該断面は流体連通軸（９）に対する断面である。
