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太阳平板集热器的板芯及其集热板选择性吸收膜的镀膜方法
- 专利权人:
- 常州博士新能源科技有限公司
- 发明人:
- 夏建业,郭廷玮,杨纪忠,汤留庚
- 申请号：
- CN200810018537.5
- 公开号：
- CN100538198C
- 申请日:
- 2008.02.21
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2009
- 代理人:
- 夏海初
- 摘要：
- 本发明公开了一种太阳平板集热器的板芯及其集热板选择性吸收膜的镀膜方法，其板芯由铜箔集热板与布设在集热板反面的铜质流体介质管焊接组成，在集热板正面镀布有吸收膜，以其所述吸收膜是TiNxOy氮氧化钛选择性吸收膜为主要特征。具有结构合理，热交换效果好和吸收率高等特点。其镀膜方法是，采用直流双靶真空溅射镀膜机，以铜箔集热板为基材，钛靶为阴极，以其依次按照铜箔集热板正面处理；铜箔集热板烘干；烘干铜箔集热板置于镀膜室内，且镀膜室抽真空；采用Ar氩气轰击铜箔集热板正面，实施二次清理；给钛靶接通直流电，同时充N、O气，经反应形成TiNxOy氮氧化钛选择性吸收膜为主要特征。具有工艺先进，所述集热板与选择性吸收膜粘合牢度强，镀层均匀，表面平整和吸收率高及发射率小等特点。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
