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包括可单独运输的器皿的等离子设备
专利权人:
克里斯托夫-赫伯特·迪纳
发明人:
克里斯托夫-赫伯特·迪纳
申请号:
CN201480068929.6
公开号:
CN105899240B
申请日:
2014.09.12
申请国别(地区):
CN
年份:
2019
代理人:
摘要:
本发明涉及一种等离子设备(10)。所述等离子设备(10)包括至少两个单独的部件,即用于要处理的物体(18)的器皿(14)和包括用于在器皿(14)中触发等离子体(26)的电的等离子源(19)的等离子单元(12)。等离子单元(12)不具有用于其他介质的另外的组件,从而等离子单元(12)可以在结构上尤其简单地构成并且容易被操作。尤其优选器皿(14)具有由玻璃制成的器皿体(16)。器皿体(16)优选一件式地构成并且完全包围物体(18)。等离子体(26)可以与等离子单元(12)隔开距离地借助电的等离子源(19)的高频发生器(20)、感应线圈和/或磁控管被触发。
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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