您的位置：
首页
>
农业专利
>
详情页
一种制备柔性AZO薄膜的方法
- 专利权人:
- 凯盛光伏材料有限公司;中国建筑材料科学研究总院;蚌埠玻璃工业设计研究院
- 发明人:
- 彭寿,姚婷婷,钟汝梅,杨勇,张宽翔,蒋继文,曹欣,徐根保
- 申请号：
- CN201510876503.X
- 公开号：
- CN105483630A
- 申请日:
- 2015.12.03
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2016
- 代理人:
- 杨晋弘
- 摘要：
- 本发明公开一种制备柔性AZO薄膜的方法，包括以下步骤：a) 将磁控溅射装置的AZO靶材设为两个，并上下相对设置，磁控溅射装置内还设有在AZO靶材之间形成磁场的磁体，磁场方向与靶材垂直；b)将柔性衬底设置于两个靶材的外侧，使柔性衬底与靶材垂直；c)对柔性衬底进行预溅射；d)对柔性衬底进行溅射沉积底层AZO薄膜；e) 在底层AZO薄膜基础上再溅射沉积AZO薄膜；溅射过程中，二次电子飞出靶面后，被有效的封闭在两个靶之间作洛仑兹运动，形成柱状等离子体，最终沉积在柔性衬底上；由于电子能量很低，柔性衬底温升较低并且使得薄膜有效避免了离子损伤，同时，薄膜在室温中沉积，避免柔性衬底在传统磁控溅射过程中烧糊，变形等损坏，保证薄膜质量。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
