等离子显示屏前面板的制作方法
- 专利权人:
- 四川虹欧显示器件有限公司
- 发明人:
- 田玉民,罗向辉
- 申请号：
- CN201010597911.9
- 公开号：
- CN102097267B
- 申请日:
- 2010.12.21
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2012
- 代理人:
- 邓世燕
- 摘要：
- 本发明公开了一种等离子显示屏前面板的制作方法，通过蒸镀完ITO膜层后直接蒸镀Cr/Cu/Cr层；通过一次曝光一次显影一次刻蚀得到具有ITO电极和Cr/Cu/Cr电极的图形；经过一次不同溶液的刻蚀完成电极制作过程，通过控制各个涂层的刻蚀速率达到和现有技术一样的技术效果。本发明的积极效果是：减少了4个工序，可以节约4个工序的设备和所使用的材料；同时实现了ITO电极和Cr/Cu/Cr电极的一次刻蚀，提高了工序良品率；采用一块母版解决了现有技术中使用两块母版引起的BUS电极曝光时和已经制作好的ITO电极进行对位的精度问题，减少了对位偏差引起的不良影响，使显示屏的显示质量得到了提高。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
