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一种基于三维微结构的石墨烯纳米电子皮肤及其制备方法
- 专利权人:
- 深圳大学
- 发明人:
- 朱玲,刘向辉,吴懿平,王威
- 申请号：
- CN201811146065.1
- 公开号：
- CN109363800A
- 申请日:
- 2018.28.09
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2019
- 代理人:
- 摘要：
- 一种基于三维微结构的石墨烯纳米电子皮肤及其制备方法,其中,石墨烯纳米电子皮肤的制备方法包括:将硅晶片被引入到石英管中,在高温环境下采用等离子体增强化学气相沉积法在硅晶片生长出具有三维微结构的石墨烯纳米;当石墨烯纳米生长成型后,引入由甲烷和氢气组成的反应气体混合物到石英管中,以使石墨烯纳米迅速降低到室温;将熔融状态的聚二甲基硅氧烷均匀涂设在硅晶片上并包覆住石墨烯纳米,且固化成柔软透明的片状结构;将固化后的聚二甲基硅氧烷从硅晶片上剥离,并在具有片状结构的聚二甲基硅氧烷的四周边缘上粘贴上电极,以形成石墨烯纳米电子皮肤。本发明的石墨烯纳米电子皮肤具有突出的拉伸和弯曲性能,且制作简单,成本低,灵敏度高。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
