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金属纳米槽二维光栅传感器芯片及其在生化测试中的应用
- 专利权人:
- 昆山复锶科纳米光学科技有限公司
- 发明人:
- 郭宏,郭军鹏
- 申请号：
- CN201810825565.1
- 公开号：
- CN109030423A
- 申请日:
- 2018.07.25
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2018
- 代理人:
- 吴秉中
- 摘要：
- 本发明公开了一种基于金属纳米槽二维光栅的等离子生物光学传感器芯片，和一个新的等离子生物光学测试方法。等离子纳米生物芯片由硅片或玻璃片做衬底，金薄膜衬底，金薄膜表面上的纳米槽结构组成。金薄膜采用离子溅射工艺成膜，纳米槽结构采用电子束刻，紫外光刻，或纳米压印工艺及反应离子束蚀刻制造。与现有技术相比，本发明有如下特点：第一，此芯片的局域等离子共振可以通过斜入射来激发。第二，此芯片结构的表面等离子共振频率可通过调整入射光角度以及入射光源的偏正态而变化。第三，此芯片的检测敏感度比其它纳米生物芯片较高，此结构在TM偏正态激发下，通过调节入射光角度，可以提高测量的敏感度。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
