Eine Vorrichtung (1) zum optischen Inspizieren von Objekten (10) mit einer ersten Beleuchtungseinrichtung (2), welche das zu inspizierende Objekt (10) beleuchtet, mit einer Detektoreinrichtung (4), welche von der Beleuchtungseinrichtung (2) stammende von dem Objekt reflektierte und/oder gestreute Strahlung erfasst, wobei die Detektoreinrichtung (4) eine Bildaufnahmeeinrichtung (42) zur ortsaufgelösten Aufnahme von Bildern mit einer Vielzahl von Bildaufnahmeelementen (44) aufweist. Erfindungsgemäß ist die Bildaufnahmeeinrichtung (42) in wenigstens zwei unterschiedlichen Bildaufnahmemodi (B1, B2) betreibbar, wobei sich diese Bildaufnahmemodi (B1, B2) in wenigstens einem für die Bildaufnahme charakteristischen Parameter unterscheiden.A device (1) for optically inspecting objects (10) with a first illumination device (2) which illuminates the object (10) to be inspected, with a detector device (4) which reflects from the illumination device (2) from the object and / or scattered radiation detected, wherein the detector device (4) has an image pickup device (42) for the spatially resolved recording of images with a plurality of image pickup elements (44). According to the invention, the image recording device (42) can be operated in at least two different image recording modes (B1, B2), wherein these image recording modes (B1, B2) differ in at least one parameter characteristic of the image recording.
