化学和机械磨平过程中所用过的水和浆状磨料的回收方法和设备
- 专利权人:
- 卢西德处理系统公司
- 发明人:
- 加里·L·科利特,小格伦·A·罗伯逊
- 申请号：
- CN98807532.6
- 公开号：
- CN1265046A
- 申请日:
- 1998.06.04
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2000
- 代理人:
- 张平元
- 摘要：
- 本发明涉及从半导体材料磨平加工所使过的含水化学机械加工浆料中回收磨料成分和水。该浆状废液优选具有中性pH值，并冷却到0℃—15℃之间的温度。向浆状废液施加一电位,使浆状废液中的磨料颗粒易于团聚和分离。在一个实施方案中,浆状废液在常温和常压下加入一处理室,然后与该处理室分离的上清液在真空室中进行减压,使陷捕在上清液中的气体成泡到上清液液体表面,从浆状废液中进一步分离和收集水和磨料颗粒。在另一实施方案中,浆状废液通过一个或一个以上的自清洗的可逆粗颗粒过滤部件过滤。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
