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光学相干断层扫描设备
- 专利权人:
- 日本电气株式会社
- 发明人:
- 中村滋
- 申请号：
- CN201880100315.X
- 公开号：
- CN113227761A
- 申请日:
- 2018.12.20
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2021
- 代理人:
- 摘要：
- 提供了一种光学相干断层扫描设备，其以最少的配置修改实现大范围测量和流动部分区分测量的功能。该光学相干断层扫描设备设置有：分离光束生成装置，该分离光束生成装置将从单个光源发射的光束分离成至少四个分离光束并且输出这些光束；测量光束照射装置，该测量光束照射装置通过可以改变所述测量光束在测量目标上的位置的机构，将作为至少四个分离光束中的至少两个的测量光束照射到测量目标的不同位置上；参考光束照射装置，该参考光束照射装置将至少四个分离光束中的不是测量光束的至少两个作为参考光束照射到参考光束镜上；以及光谱数据生成装置，该光谱数据生成装置从通过使由参考光束镜反射的参考光束中的一个与由测量目标反射或散射的测量光束中的每个干涉而获取的干涉光中，获取关于测量目标的深度方向结构数据。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
