研磨粒子、研磨スラリー及び研磨粒子の製造方法
- 专利权人:
- ユービーマテリアルズ インコーポレイテッド
- 发明人:
- パク ジンヒョン
- 申请号：
- JP20160076890
- 公开号：
- JP2017014482(A)
- 申请日:
- 2016.04.06
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】 研磨粒子、研磨スラリー及び研磨粒子の製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】第１の前駆体及び第１の前駆体とは異なる第２の前駆体が混合された前駆体溶液を設ける過程と、塩基性溶液を設ける過程と、塩基性溶液と前駆体溶液を混合し、沈殿物を生成する過程と、沈殿により合成された研磨粒子を洗浄する過程とを含む研磨粒子の製造方法。【選択図】図１
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
