PROBLEM TO BE SOLVED: To solve the problem that although it is tried to narrow down a plasma irradiation area small by making a glass pipe of a microplasma source thin, plasma is apt to be deactivated before being carried to a sample since the distance to a nozzle tip becomes long, and also to solve the program that it is in principle to irradiate a specific region of the sample with plasma since the sample and nozzle are arranged at a distance as a gas all flows at a high flow velocity from the nozzle tip and blows the sample away.SOLUTION: There is actualized a nozzle that can contact a sample by having one or more gas outlets at a downstream portion as well as an outgoing port, and is combined with a microplasma source capable of irradiating the sample locally with a plasma active species.COPYRIGHT: (C)2013,JPO&INPIT【課題】従来、マイクロプラズマ源のガラス管を細くしてプラズマ照射領域を小さく絞ることが試みられているが、ノズル先端までの距離が長くなるため、プラズマが、サンプルまで運ばれる間に失活し易い。また、ノズル先端から全てのガスが速い流速とともに流しサンプルを吹き飛ばしてしまうため、サンプルとノズルは離れて配置することになるため、サンプルの特定領域にプラズマを照射することは原理的に難しい。【解決手段】本発明は、出射口の他、一つ以上のガス流出口を下流部に持つことで、サンプルとの密着が可能な、プラズマ活性種を局所的にサンプルに照射することができるマイクロプラズマ源と組み合わされるノズルを実現したものである。【選択図】 図1
