一种柔性平板探测器及其制作方法
- 专利权人:
- 北京京东方传感技术有限公司
- 发明人:
- 钟昆璟,侯学成
- 申请号：
- CN201910091850.X
- 公开号：
- CN109841637A
- 申请日:
- 2019.30.01
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2019
- 代理人:
- 摘要：
- 本发明实施例提供一种柔性平板探测器及其制作方法,涉及探测技术领域,能够解决柔性平板探测器可靠性差、耐用性差等问题;该柔性平板探测器包括柔性基板以及依次设置于柔性基板上的薄膜晶体管阵列、光敏器件阵列、第一闪烁体层;该平板探测器还包括:位于柔性基板背离第一闪烁体层一侧的第二闪烁体层;其中,光敏器件阵列中的各光敏器件分别一一对应与薄膜晶体管阵列中的各薄膜晶体管的漏极连接。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
