Problem to be solved: to maintain a barrier property against a gas such as oxygen or steam, gas or liquid such as a liquid, or a stress such as bending or retorting treatment, to maintain a barrier property, and to maintain an arbitrary shape and color of a member, and a stress resistant barrier laminate, and a package made using the barrier laminate Packaging material and packaging.Solution to the surface of memberBarrier layer 3 made of an inorganic vapor deposited film by atomic volume deposition (ALD) methodA protective layer 4 comprising a polymer evaporated film of paracylsilylene based compound isStacked in this orderA stress resistant barrier stack 1The surface of memberOxygen is 10% or moreIt is a plasma treatment surface using gas containing 100% by volume or lessThe inorganic deposition film layer 3 isAluminumSiTiNBTA,HFZrContains oxides or nitrides of one or more elements selected from the group consisting of ZnThe top surface of the barrier stackA barrier layer 1 having a stress relieving property wherein the protective layer 4 is laminated.Diagram【課題】酸素や水蒸気等のガス、気体または液体の薬剤等に対するバリア性を有し、屈曲やレトルト処理等のストレスを受けてもバリア性が維持され、部材の任意の形状と色彩を維持する、耐ストレス性のバリア積層体、該バリア積層体を用いて作製された包装材料、包装体の提供。【解決手段】部材２の表面に、原子体積蒸着法（ＡＬＤ法）による無機蒸着膜からなるバリア層３と、パラキシリレン系化合物の重合体蒸着膜からなる保護層４とが、この順に積層されてなる、耐ストレス性のバリア積層体１であって、部材２の表面は、酸素が１０体積％以上、１００体積％以下含有されたガスを用いたプラズマ処理面であり、無機蒸着膜層３は、Ａｌ、Ｓｉ、Ｔｉ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｈｆ、Ｚｒ、Ｚｎからなる群から選択される１種または２種以上の元素の酸化物または窒化物を含み、バリア積層体１の最表面には、保護層４が積層されている耐ストレス性のバリア積層体１。【選択図】図１
