An apparatus for sterilization according to an embodiment of the present invention comprises: a chamber containing objects of sterilization a vaporizer heating air a vacuum unit discharging water and cold air from the chamber an air supply unit injecting the heated air into the chamber and a control unit controlling the air supply unit to allow the air heated in the vaporizer to be injected into the chamber, controlling the vacuum unit to discharge air therefrom until the air pressure in the chamber becomes a first preset air pressure, and controlling the air supply unit to inject the heated air into the chamber until air pressure in the chamber becomes a second preset air pressure.COPYRIGHT KIPO 2014본 발명의 일실시예에 의한 플라즈마 멸균장치는 피멸균물을 포함하는 챔버, 공기를 가열하는 기화기, 상기 챔버 내부에 있는 수분 및 찬 공기를 외부로 배출하는 진공부, 상기 가열된 공기를 상기 챔버로 주입하는 공기공급부 및 상기 기화기에서 가열된 공기가 상기 챔버로 주입되도록 상기 공기공급부를 제어하고, 상기 챔버 내부의 기압이 제 1 설정된 기압이 될 때까지 공기를 외부로 배출하도록 상기 진공부를 제어하고, 상기 챔버 내부의 기압이 제 2 설정된 기압이 될 때까지 상기 챔버 내부로 상기 가열된 공기를 주입하도록 상기 공기공급부를 제어하는 제어부를 포함한다.
