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物体支持装置及び露光装置
- 专利权人:
- 株式会社ニコン
- 发明人:
- 江田 健
- 申请号：
- JP20150235567
- 公开号：
- JP2017102285(A)
- 申请日:
- 2015.12.02
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】用力供給の遮断時の、チャックユニットの落下（自重による降下）を防止する。【解決手段】複数の重量キャンセル装置１３１に用力（例えば加圧空気）が供給され、該複数の重量キャンセル装置１３１によってチャックユニット１５３が所定の第１位置に支持されているときに、重量キャンセル装置１３１に対する用力（例えば加圧空気）の供給停止とともに、複数の落下阻止装置５５に対する用力（例えば加圧空気）の供給が停止（遮断）されると、複数の落下阻止装置５５の支持ピン５９が圧縮ばね５８の付勢力により上方に駆動され、支持部材２４２（２４１）を下方から支持する。これにより、複数の落下阻止装置５５によりチャックユニット１５３の自重が支持される。【選択図】図１５
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
