PROBLEM TO BE SOLVED: To emit pulse laser beam in desired wavelength series in a laser light source unit.SOLUTION: A Q switch 55 and a birefringent filter 56 are inserted in an optical resonator including a pair of mirrors 53 and 54 facing each other with a laser rod 51 inserted therebetween. The birefringent filter 56 changes an oscillation wavelength of the optical resonator in association with rotational displacement. A trigger control circuit 30 rotates the birefringent filter 56 at a prescribed rotational speed corresponding to the number of wavelengths included in a wavelength series of the pulse laser beam to be emitted. The trigger control circuit 30 also turns on the Q switch 55 to emit pulse laser beam at the timing that the rotational displacement position of the birefringent filter 56 changes to the position corresponding to the wavelength of the pulse laser beam to be emitted after a flash lamp 52 irradiates the laser rod 51 with exciting light.COPYRIGHT: (C)2013,JPO&INPIT【課題】レーザ光源ユニットにおいて、所望の波長系列でパルスレーザ光を出射する。【解決手段】レーザロッド51を挟んで対向する一対のミラー53、54を含む光共振器内に、Qスイッチ55と複屈折フィルタ56とが挿入される。複屈折フィルタ56は、回転変位に伴って光共振器の発振波長を変化させる。トリガ制御回路30は、出射すべきパルスレーザ光の波長系列に含まれる波長の数に応じた所定の回転速度で複屈折フィルタ56を回転させる。また、トリガ制御回路30は、フラッシュランプ52からレーザロッド51に励起光を照射した後、複屈折フィルタ56の回転変位位置が、出射すべきパルスレーザ光の波長に対応した位置となるタイミングでQスイッチ55をオンにしてパルスレーザ光を出射させる。【選択図】図2
