用于光学测量表面形貌的装置和方法
- 专利权人:
- 阿莱恩技术有限公司
- 发明人:
- 优素福·阿缇亚,塔勒·维科尔
- 申请号：
- CN201580047638.3
- 公开号：
- CN106794052B
- 申请日:
- 2015.30.06
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2020
- 代理人:
- 摘要：
- 描述了一种用于确定三维结构的表面形貌的装置。该装置能够包括探头(90)和被配置为输出多个光束(36)的照明单元(28、32、34、38)。在多个实施例中,该装置包括聚光组件(42、44)。聚光组件能够接收多个光束中的各光束并且将光束聚焦于各自的外部焦点。聚光组件能够被构造成使多个光束在变焦组件(224、234)内重叠,以使外部焦点沿着光束的传播方向移动。该装置能够包括:检测器(60),其具有配置为测量从亮斑返回的多个光束中的各光束的特性的传感元件;和处理器(24),其连接到检测器,并且被配置为基于测得的特性生成表示结构的形貌的数据。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
