ポンプシステム、二酸化炭素供給システム、抽出システム、リソグラフィ装置、およびデバイス製造方法

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专利权人:

エーエスエムエル ネザーランズ ビー．ブイ．

发明人:

ヴァン デル ガーグ，マルク レオン,ファン デン ヒューヴェル，レオナルダ，ヘンドリカ,マーテンズ，アルヤン，ヒューブレヒト，ヨセフ，アンナ,ヴァン ボクステル，フランク，ヨハネス，ヤコブス

申请号：

JP20150094362

公开号：

JP6145131(B2)

申请日:

2015.05.01

申请国别(地区):

日本

年份:

2017

代理人:

摘要：

An extraction system, including a pump to pump gas along a conduit to a check valve configured to open at an upstream pressure over a certain magnitude, a pressure sensor to generate a signal indicative of a pressure of gas between the pump and the check valve, and a controller configured to generate a stop signal if a signal from the pressure sensor indicates that the pressure of gas between the pump and the check valve is below a certain magnitude.

来源网站：

中国工程科技知识中心

来源网址：

http://www.ckcest.cn/home/