A microwave plasma nozzle array system, and the present invention provides a method for configuring a microwave plasma nozzle array. Is conveyed to the (323) a microwave cavity in a particular way, the microwave to form (66) an interference pattern comprising (69) a high energy region (32) within a microwave cavity. In (69), is controlled by the wavelength and phase of microwave high-energy region. (36) is provided in the array (37) nozzle elements. It has a (116) portion disposed in the microwave cavity (32) in part, to accept the gas nozzles for each element (36) to pass therethrough. I receive the microwave energy from one of the (69) high-energy region (36) nozzle element. Each nozzle element (36), plasma (38) is generated using a gas that has been accepted and has a (114) rod-shaped conductor having a (117) tip microwave is concentrated.本発明は、マイクロ波プラズマノズルアレイシステム、およびマイクロ波プラズマノズルアレイを構成するための方法を提供する。マイクロ波は特定の方法でマイクロ波キャビティ(323)へと搬送され、マイクロ波キャビティ(32)内に高エネルギー領域(69)を備える干渉パターン(66)を形成する。高エネルギー領域(69)は、マイクロ波の位相および波長によって制御される。複数のノズル素子(36)がアレイ(37)に設けられている。それぞれのノズル素子(36)は部分的にマイクロ波キャビティ(32)内に配置されている部分(116)を持っており、ガスを受け入れ、そこを通過させる。ノズル素子(36)は高エネルギー領域(69)の1つからマイクロ波エネルギーを受け取る。ノズル素子(36)はそれぞれが、マイクロ波が集中する先端部(117)を持つロッド状コンダクタ(114)を備えており、そして受け入れられたガスを使ってプラズマ(38)が発生される。
