硅基多重膜结构的薄膜气敏元件
- 专利权人:
- 刘德宇
- 发明人:
- 刘德宇
- 申请号：
- CN93212930.7
- 公开号：
- CN2182407Y
- 申请日:
- 1993.05.20
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 1994
- 代理人:
- 摘要：
- 本实用新型是一种硅基多重膜结构的薄膜气敏元件。它由绝缘介质膜把金属膜加热电阻与气敏端子和气敏电阻薄膜及硅基片分层隔离。它不受硅器件结温的限制。可以因气敏薄膜材料的各种选择而制成具有不同检知功能的各种针对不同气体的气敏元件。是化工、油田、煤矿等安全生产和火箭发射燃料检漏、建筑防火探测报警，以及环境监测、食品保鲜度和驾驶司机是否饮酒等等的监察检测手段之传感器核心元件。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
