等离子照射装置以及前端设备
- 专利权人:
- 日本特殊陶业株式会社
- 发明人:
- 伊藤伸介
- 申请号：
- CN202080008898.0
- 公开号：
- CN113287372A
- 申请日:
- 2020.06.01
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2021
- 代理人:
- 摘要：
- 等离子照射装置(20、320、420、520、620、720、820)具备气体引导路径(30)和沿面放电部(40、340、440、540、640、740、840)。沿面放电部(40、340、440、540、640、740、840)的放电电极和接地电极的一方直接或者经由其他构件而面向流路(36)，并与周期性变化的电压施加于放电电极相应地在流路(36)内产生沿面放电。并且，接地电极的至少一部分配置于比放电电极靠放出口(34)侧处。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
