Eine Vorrichtung zum Sterilisieren von Behältnissen (10) mit einer Transporteinrichtung (2) welche die Behältnisse (10) entlang eines vorgegebenen Transportpfades (P) transportiert, mit einer ersten Sterilisationseinrichtung (4) welche wenigstens einen Bereich der Behältnisse (10) mit einer Strahlung beaufschlagt, um diese zu sterilisieren, und mit einer entlang des Transportpfades (P) der Behältnisse (10) stromabwärts bezüglich der ersten Sterilisationseinrichtung (4) angeordneten Überprüfungseinrichtung (6) zur Überprüfung des Sterilisationsvorgangs. Erfindungsgemäß dient die Überprüfungseinrichtung zur Analyse wenigstens eines im Bereich der Behältnisse auftretenden gasförmigen Mediums.A device for the sterilization of containers (10) with a transport device (2) which the containers (10) along a predefined transport path (p) is to be transported, with a first sterilizing means (4) which has at least one region of the containers (10) with a radiation, in order to secure these to sterilize and with a along the transport path (p) of the containers (10) downstream with respect to the first sterilizing means (4) arranged checking means (6) for checking of the sterilization before gear. According to the invention, it is the checking device for the analysis of at least one in the region of the containers occurring gaseous medium.