An ozone removal device is provided. The ozone removal device according to an embodiment of the present invention includes a quartz tube and a heating source in which a fluid flow path is formed, and ozone discharged from the surface modification treatment device of the object to be treated and introduced through the fluid flow path is removed by the heating source. It includes a heating quartz body for pyrolysis, and a cooling unit for cooling air discharged from the heating quartz body.오존제거 장치가 제공된다. 본 발명의 실시예에 따른 오존제거 장치는 유체유통로가 형성되는 석영관 및 가열원을 포함하고, 피처리물의 표면개질 처리장치에서 배출되어 유체유통로를 통하여 유입되는 오존을 상기 가열원에 의해 열분해시키는 히팅석영체, 및 히팅석영체에서 열분해되어 배출되는 공기를 냉각시키는 냉각부를 포함한다.
