用于CMOS传感器上的超声换能器的压力端口
- 专利权人:
- 蝴蝶网络有限公司
- 发明人:
- 刘建伟,约瑟夫·卢茨基,杨君宇,基思·G·菲费
- 申请号：
- CN201980029781.8
- 公开号：
- CN112075090A
- 申请日:
- 2019.05.02
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2020
- 代理人:
- 摘要：
- 描述了具有压力端口的微机械超声换能器。该微机械超声换能器可以包括被配置成在腔上方振动的柔性膜。在某些情况下，腔可以被膜本身密封。压力端口可以提供到腔的通路，从而控制腔压力。在一些实施方式中，提供了一种包括微机械超声换能器阵列的超声装置，其具有用于超声换能器中的至少一些的压力端口。压力端口可以被用来控制整个阵列上的压力。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
