KIM, JIN SEOK,김진석,SUH JUN KYO FRANCIS,서준교,PARK, HYUNG DAL,박형달,KANG, SUNG CHUL,강성철
申请号：
KR1020110128921
公开号：
KR1020130062574A
申请日:
2011.12.05
申请国别(地区):
KR
年份:
2013
代理人:
摘要：
PURPOSE: A flexible pH sensor is provided to facilitate the insertion into the blood vessels, and to minimize the blood vessel damage by comprising flexible materials having biocompatibility.CONSTITUTION: A flexible pH sensor(100) comprises a substrate(110), a reference electrode(120), a working electrode(130), and ISFET(Ion-Selective Field Effect Transistor)(140). The substrate has the biocompatibility, and is made of flexible materials. The substrate is formed with the width and length of 300um to 500um, respectively. The reference electrode and the working electrode are formed by photolithography and a lift-off process on the substrate, and perform the pH measurement in the blood vessels. The ISFET is formed between the reference electrode and the working electrode, and the two electrodes are in a semiconductor electrode form.COPYRIGHT KIPO 2013본 발명은 플렉시블 pH 센서에 관한 것으로, 더 상세하게는, 생체적합성을 갖는 유연한 재료를 이용하며 혈관 삽입이 용이한 크기를 갖는 플렉시블 pH 센서에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉시블 pH 센서는, 유연한 재료로 이루어지는 기판 상기 기판 상에 포토리소그래피와 리프트-오프 공정을 통해 형성되어 pH 농도 측정을 수행하는 기준 전극과 작용 전극 및 상기 기준 전극과 작용 전극 사이에 형성되는 ISFET를 포함하며, 상기 기판은 의학용 주사바늘에 삽입가능하도록 가로와 세로 크기가 각각 300㎛ 내지 500㎛ 로 이루어진다.
