In certain embodiments, system 10 includes a source laser 20 , at least one optical element (24), and a monitoring device 28, and the control computer 30. The laser source 20 can emit one or more laser pulses. An optical element (24) is to change the pulse length of the laser pulse, the monitoring device 28 measures the pulse length of the laser pulse in order to detect a change in the pulse length. The control computer 30 receives the pulse length measurements from the monitoring device 28, to determine one or more laser parameters to compensate for the change in pulse length and controls the laser source 20 according to the laser parameters.임의의 실시예들에서, 시스템(10)은 레이저원(20), 하나 이상의 광학 요소들(24), 감시 디바이스(28), 및 제어 컴퓨터(30)를 포함한다. 레이저원(20)은 하나 이상의 레이저 펄스들을 방출한다. 광학 요소들(24)은 레이저 펄스들의 펄스 길이를 변화시키고, 감시 디바이스(28)는 펄스 길이의 변화를 검출하기 위해 레이저 펄스들의 펄스 길이를 측정한다. 제어 컴퓨터(30)는 감시 디바이스(28)로부터 측정된 펄스 길이를 수신하고, 펄스 길이의 변화를 보상하는 하나 이상의 레이저 파라미터들을 결정하며, 레이저 파라미터들에 따라 레이저원(20)을 제어한다.
