一种温湿双功能敏感薄膜元件及其制造方法
- 专利权人:
- 华东师范大学
- 发明人:
- 茅有福,许德霖
- 申请号：
- CN90105203.5
- 公开号：
- CN1016896B
- 申请日:
- 1989.12.26
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 1992
- 代理人:
- 俞允超`程宗德
- 摘要：
- 一种由聚酰亚胺薄膜电容式湿敏元件和铝、钛双金属薄膜电阻式温敏元件结合组成的温、湿双功能敏感薄膜元件。这是在衬底硅片表面上先生长一层二氧化硅，然后用薄膜工艺，在二氧化硅绝缘层上先后淀积钛、铝、聚酰亚胺、金等各种薄膜，并用掩模板使薄膜形成微细图案。该敏感元件能同时检测环境中同一点的温度和湿度，并具有测量范围宽，线性度好，不需加热清洗、响应快、体积小等特点。在工农业生产、贮存、管理以及日常生活中有广泛应用前景。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
