Embodiments of the scanning optical system (10) include a light source (22) that provides a beam (38) of pulsed light of very short pulse duration, a deflector (26) for deflecting the beam through a scan angle, Lens system including a focusing objective lens (30) for focusing the focused beam, a dispersion compensation device (25) for reducing distortion associated with dispersion of the pulse of the beam by the lens system, and variable shape dispersibility A dispersion compensation device including a mirror (42) and an actuator device (44) for the mirror, and a controller (18) for controlling the actuator device to change the shape of the mirror according to the scan angle. [Selection] Figure 1スキャニング光学システム（１０）の実施形態は、極短パルス持続期間のパルス光のビーム（３８）を提供する光源（２２）と、スキャン角度を通してビームを偏向するための偏向器（２６）と、偏向されたビームを集束するための集束対物レンズ（３０）を含むレンズシステムと、レンズシステムによってビームのパルスの分散に関連した歪みを低減するための分散補償デバイス（２５）と、可変形状の分散性ミラー（４２）及びそのミラーのためのアクチュエータデバイス（４４）を含む分散補償デバイスと、スキャン角度に従ってミラーの形状を変更するようにアクチュエータデバイスを制御するためのコントローラ（１８）と、を備える。【選択図】図１
