Problem to be solved: to provide a vapor sterilizer capable of preventing reverse flow of liquid to the pump.The steam sterilizer comprises a liquid feed pump for transferring the liquid to the chamber, a sensor disposed outside the chamber, a sensor for detecting the amount of liquid necessary for sterilization of the sterilized material to the chamber, and a control section for controlling the operation of the steam sterilizer.When the liquid is supplied to the chamber, the control unit starts the supply pump, then temporarily stops the supply pump, restarts the supply pump, and then stops the supply pump based on the detection of the sensor.Diagram【課題】ポンプへの液体の逆流を防止できる蒸気滅菌器を提供する。【解決手段】蒸気滅菌器は、チャンバへ液体を移送する給液ポンプと、チャンバ外に配置され、被滅菌物の滅菌処理のために必要な量の液体がチャンバに供給されたことを検出するセンサと、蒸気滅菌器の動作を制御する制御部とを備えている。チャンバへ液体を供給するとき、制御部は、給液ポンプを起動し、その後給液ポンプを一旦停止し、その後給液ポンプを再起動し、その後センサの検出に基づいて給液ポンプを停止する。【選択図】図３
