To sterilize a sterilizing filter with a heated steam, minimize a heat load on the sterilizing filter as much as possible, and extend the service life of the sterilizing filter.SOLUTION: A sterilizing filter for sterilizing supplied air is supplied with a heated steam； the temperature of a heated steam discharged from the sterilizing filter is measured every predetermined time, while calculating an F value； and when the F value reaches a target value, the sterilization of the sterilizing filter is finished.SELECTED DRAWING: Figure 1【課題】除菌フィルタを加熱水蒸気により殺菌し、できる限り除菌フィルタに与える熱負荷を軽減して除菌フィルタの耐用期間を長くする。【解決手段】供給されるエアを除菌する除菌フィルタに加熱水蒸気を供給し、除菌フィルタから排出される加熱水蒸気の温度を所定時間ごとに測定しつつＦ値を演算し、当該Ｆ値が目標値に達したときに除菌フィルタの殺菌を終了する。【選択図】図１
