DISPOSITIF DE PRODUCTION DE PLASMA, PROCÉDÉ DE LAVAGE DE DISPOSITIF DE PRODUCTION DE PLASMA, DISPOSITIF DE CHARGE DE PARTICULE ET DISPOSITIF DE COLLECTE DE POUSSIÈRE
LTD.;MASUDA RESEARCH, INC.;MITSUBISHI HEAVY INDUSTRIES MECHATRONICS SYSTEMS, LTD.;三菱重工メカトロシステムズ株式会社;株式会社増田研究所;MITSUBISHI HEAVY INDUSTRIES MECHATRONICS SYSTEMS
An objective of the present invention is to provide a plasma generating device, a plasma generating device washing method, a particle charging device, and a dust collecting device, whereby it is possible to cause an electrical discharge to be generated with an insulation state reliably ensured in electrodes, and to reduce adherence of dust upon a surface electrode face. This plasma generating device (1) comprises: a cylindrical insulation body (7) which is installed orthogonally to a gas flow, and which is electrically insulating; an internal electrode (8) which is disposed in the insulation body (7) in close contact with the insulation body (7); a surface electrode (9) which is disposed in close contact with the surface of the insulation body (7) and not integrated therewith, parallel or oblique to the gas flow, and in the form of a line; and a primary power source unit (5) which applies a voltage between the internal electrode (8) and the surface electrodes (9), and which causes a creeping discharge to be generated in the boundary plane between the surface electrode (9) and the insulation body (7).Un objet de la présente invention est de fournir un dispositif de production de plasma, un procédé de lavage de dispositif de production de plasma, un dispositif de charge de particule et un dispositif de collecte de poussière, sachant qu'il est possible d'amener une décharge électrique à être produite avec un état isolant garanti de manière fiable dans des électrodes, et de réduire l'adhérence de la poussière sur une face d'électrode de surface. Ledit dispositif de production de plasma (1) comprend : un corps isolant cylindrique (7) qui est installé perpendiculairement à un flux de gaz, et qui est électriquement isolant ; une électrode interne (8) qui est disposée dans le corps isolant (7) en contact étroit avec le corps isolant (7) ; une électrode de surface (9) qui est disposée en contact étroit avec la surface du corps isolant (7) et n'est pas intégrée à celle-ci, de