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水平設置装置及び被設置物の水平設置方法
- 专利权人:
- 東京エレクトロン株式会社
- 发明人:
- 園田 主税,赤田 光,長谷部 和久,宇都宮 由典
- 申请号：
- JP20160142587
- 公开号：
- JP2017073538(A)
- 申请日:
- 2016.07.20
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】被設置物を水平に支面に設置するために要する作業時間を短縮する水平設置装置を提供する。【解決手段】被設置物Ｄ１を、下部に設けられた複数の高さ調整機構により調整して水平に支面に設置するための水平設置装置において、被設置物の複数の測定個所に夫々設置される水準計測器４１と、各水準計測器の測定値と、適正な水準範囲と、に基づいて、各水準計測器の測定値のうち適正な水準範囲から外れた測定値を当該適正な水準範囲に収めるために、少なくとも一つの高さ調整機構の調整量を演算する演算部９１と、演算された調整量に基づいて、被設置物を水平に支面に設置するための対処を行う対処部８１と、を備えるように水平設置装置を構成する。それによって作業者の負担を軽減し、作業時間を短縮することができる。【選択図】
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
