CARL ZEISS MEDITEC, INC.;CARL ZEISS MEDITEC; INC.;CARL ZEISS MEDITEC AG
发明人:
SCHMOLL, Tilmann,TUMLINSON, Alexandre R,EVERETT, Matthew J.,SHEMONSKI, Nathan
申请号：
EPEP2015/062771
公开号：
WO2015/189174A3
申请日:
2015.06.09
申请国别(地区):
EP
年份:
2016
代理人:
摘要：
Systems and methods for improved interferometric imaging are presented. One embodiment is a partial field frequency-domain interferometric imaging system in which a light beam is scanned in two directions across a sample and the light scattered from the object is collected using a spatially resolved detector. The light beam could illuminate a spot, a line or a two-dimensional area on the sample. Additional embodiments with applicability to partial field as well as other types of interferometric systems are also presented.La présente invention concerne des systèmes et des procédés pour l'imagerie interférométrique améliorée. Un mode de réalisation est un système d'imagerie interférométrique en domaine fréquentiel à champ partiel dans lequel un faisceau lumineux est balayé dans deux directions à travers un échantillon et la lumière diffusée à partir de l'objet est collectée en utilisant un détecteur à résolution spatiale. Le faisceau lumineux pourrait éclairer un point, une ligne ou une zone bidimensionnelle sur l'échantillon. Des modes de réalisation supplémentaires avec une applicabilité pour champ partiel ainsi que d'autres types de systèmes interférométriques sont également présentés.
