定形逐次電力分配用の電力分配器

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专利权人:

エーリコン・サーフェス・ソリューションズ・アーゲー・プフェフィコン

发明人:

ダニエル・レンディ

申请号：

JP20150540067

公开号：

JP6262753(B2)

申请日:

2013.10.29

申请国别(地区):

日本

年份:

2018

代理人:

摘要：

A power distributor that is capable of distributing the high power from a DC generator to more than two targets sequentially and without the power output of the DC generator being interrupted. Furthermore, the invention relates to a sputter source that includes the power generator described above.

来源网站：

中国工程科技知识中心

来源网址：

http://www.ckcest.cn/home/